住友低温泵

MarathonCP系列低温泵具有标准外型、超薄外型、手动功能、自动功能、不同类型法兰接口等选项供用户选择，并且可以在不破坏真空度或不将低温泵从真空腔内移出的情况下进行现场维护，延长使用寿命。抽速从1500L/S-9700L/S。  

技术特点：  

l多种接口安装方式可选  

l结合Marathon®低温泵控制器可实现全自动再生控制  

l采用Displex®气动技术  

l自带设定点继电器  

l可就地维修无需破坏真空  

从结构上看，低温泵通常由冷头、冷板、吸附阵列以及外壳等部分组成。冷头是产生低温的核心部件，多采用吉福德-麦克马洪循环或斯特林循环等制冷方式，能够将冷板温度降至十几开尔文甚至更低。冷板表面经过特殊处理，用于捕集可凝结气体。吸附阵列则通常填充有活性炭等多孔材料，在更低的温度下通过物理吸附方式捕获难以凝结的气体，如氢气、氦气等。外壳则起到支撑和保护作用，同时与真空腔体连接。  

低温泵的抽气过程分为两个主要机制。其一为冷凝，即气体分子撞击到低温冷板后失去动能并凝结成固态。该机制对水蒸气、二氧化碳以及多数碳氢化合物较为有效。其二为吸附，即气体分子进入吸附阵列的微孔结构后被范德华力束缚。吸附机制对氢气、氦气等轻质气体尤为重要。两种机制协同作用，使低温泵能够覆盖较宽的气体种类范围。  

典型应用：  

l物理气相沉积（PVD）  

l离子注入  

l化学气相沉积（CVD）  

l分子束外延  

l其他/实验室低温恒温器  

l加速器  

l真空炉  

l薄膜沉积  

住友低温泵  

http://www.yuseeinst.com/Products-38766094.html  

https://www.chem17.com/st580390/product_38766094.html 

原文链接：http://www.jc8.com.cn/chanpin/7408.html，转载和复制请保留此链接。
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